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產(chǎn)品中心
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單晶元蝕刻清洗機(jī)
適用范圍
本設(shè)備專為高級(jí)清洗和蝕刻而設(shè)計(jì)，適用于前道和后道工藝清洗，可根據(jù)客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗。
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詳細(xì)介紹
適用范圍
本設(shè)備專為高級(jí)清洗和蝕刻而設(shè)計(jì)，適用于前道和后道工藝清洗，可根據(jù)客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗。
 
產(chǎn)品亮點(diǎn)
設(shè)備內(nèi)部集成精密的化學(xué)藥液配比裝置和廢液回收裝置，同時(shí)可根據(jù)客戶需求可定制2/4/6/8/12/16腔室，單腔室最大處理速度可達(dá)到35片/小時(shí)。
 
靈活性
線體可根據(jù)客戶需求進(jìn)行非標(biāo)定制，同時(shí)整線采用柔性設(shè)計(jì)，設(shè)備可任意拼接搭配，可適用不同場景，讓客戶使用更能隨心所欲。